技術(shù)特點(diǎn)  Features   

· 成熟BBr₃液態(tài)源、BCL₃氣態(tài)源控制與輸送技術(shù)。

· 配套相關(guān)專利技術(shù)。

· 獨(dú)特雙嵌套爐門結(jié)構(gòu)。

· 高速平穩(wěn)整體模組推舟機(jī)構(gòu)。

· 智能化全自動(dòng)控制。

· 自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)MES軟件。

· 匹配S.C智能化生產(chǎn)管理系統(tǒng)。